SP-5000 ශ්රේණියේ ගෑස් වර්ණදේහය
විශේෂාංග
01 ස්ථාවර සහ විශ්වාසදායක වායු වර්ණදේහ වේදිකාව
කාර්මික ක්රියාවලි උපකරණවල තුන්වන කාණ්ඩයේ, T/CIS 03002.1-2020 "විද්යාත්මක උපකරණ සහ උපකරණවල විදුලි පද්ධති සඳහා විශ්වසනීයත්වය වැඩි දියුණු කිරීමේ පරීක්ෂණ ක්රම" T/CIS 03001.1-2020 "සම්පූර්ණ යන්ත්රයේ විශ්වසනීයත්වය සඳහා අසාර්ථකත්වය අතර මධ්යන්ය කාලය (MTBF) සත්යාපන ක්රමය" සහ අනෙකුත් ප්රමිතීන් යටතේ GB/T11606-2007 "විශ්ලේෂණ උපකරණ සඳහා පාරිසරික පරීක්ෂණ ක්රම" අනුව SP-5000 ශ්රේණියේ වායු වර්ණදේහ වෘත්තීය විශ්වසනීයත්වය සත්යාපනයට භාජනය වී ඇත. මුළු යන්ත්රයම තාප පරීක්ෂණය, විශ්වසනීයත්වය වැඩි දියුණු කිරීමේ පරීක්ෂණය, විස්තීර්ණ ආතති විශ්වසනීයත්වය වේගවත් සත්යාපන පරීක්ෂණය, ආරක්ෂක පරීක්ෂණය, විද්යුත් චුම්භක අනුකූලතා පරීක්ෂණය, MTBF පරීක්ෂණය සමත් වන අතර එමඟින් උපකරණය දිගු කාලීන, ස්ථාවර සහ විශ්වාසදායක ආකාරයකින් ක්රියාත්මක වීමට සහතික වේ.
02 නිරවද්ය සහ විශිෂ්ට උපකරණ ක්රියාකාරිත්වය
1) විශාල පරිමා එන්නත් තාක්ෂණය (LVI)
- උපරිම එන්නත් පරිමාව 500 μl ඉක්මවීම
- නිරවද්ය කාල පාලනය සහ EPC පද්ධතිය නියැදි පුනරාවර්තන හැකියාව සහතික කරයි
- විශේෂ කර්මාන්ත සඳහා වෘත්තීය විශ්ලේෂණ ශිල්පීය ක්රම
2) දෙවන තීරු කොටුව
- ස්වාධීන උෂ්ණත්ව පාලනයට හැකියාව ඇති, පිරිපහදු වායුව වැනි විශේෂ වායූන් විශ්ලේෂණය සඳහා විශේෂ අණුක පෙරහන තීරු පෙට්ටියක්
- 50-350 ℃ පාලනය කළ හැකි, ස්වාධීන වර්ණදේහ තීරු වයස්ගත වීමේ වැඩසටහන ක්රියාත්මක කිරීමේ හැකියාව ඇත
3) ඉහළ නිරවද්යතාවයකින් යුත් EPC පද්ධතිය
- EPC පාලන නිරවද්යතාවය ≤ 0.001psi (සමහර මාදිලිවල එය තිබේ)
- ඒකාබද්ධ EPC පද්ධතිය
- විවිධ යෙදුම් අවස්ථා වලදී පරිශීලකයින්ගේ අවශ්යතා සපුරාලීම සඳහා බහුවිධ EPC මොඩියුල වර්ග.
4) කේශනාලිකා ප්රවාහ තාක්ෂණය
- කුඩා මළ පරිමාවක් ලබා ගැනීම සඳහා විශේෂ සම්බන්ධතා ක්රියාවලිය
- CVD ක්රියාවලියේ මතුපිට සිලනීකරණ ප්රතිකාරය
- සාක්ෂාත් කරගත හැකි වායු ප්රවාහ සම්පූර්ණ 2D GCXGC විශ්ලේෂණ ක්රමය
- සංකීර්ණ න්යාසවල විශේෂ ද්රව්ය විශ්ලේෂණය කිරීම සඳහා ක්රියාත්මක කළ හැකි මධ්ය-කැපුම් ක්රමය
- අධි-සංශුද්ධතා වායුවල අංශු මාත්ර අපද්රව්ය විශ්ලේෂණය සාක්ෂාත් කර ගැනීම
5) වේගවත් උණුසුම සහ සිසිලන පද්ධතිය
- වේගවත්ම තාපන අනුපාතය: 120 ℃/මිනි
- සිසිලන කාලය: මිනිත්තු 4.0ක් ඇතුළත 450 ℃ සිට 50 ℃ දක්වා (කාමර උෂ්ණත්වය)
- වැඩසටහන් තාපන පුනරාවර්තන හැකියාව 0.5% ට වඩා හොඳයි (සමහර මාදිලි 0.1% ට වඩා හොඳයි)
6) ඉහළ කාර්ය සාධන විශ්ලේෂණ පද්ධතිය
- ගුණාත්මක පුනරාවර්තන හැකියාව ≤ 0.008% හෝ 0.0008 min
- ප්රමාණාත්මක පුනරාවර්තන හැකියාව ≤ 1%
03 බුද්ධිමත් සහ උසස් මෘදුකාංග පාලනය
Linux පද්ධතිය විසින් සංවර්ධනය කරන ලද විද්යුත් පාලන මොඩියුලය මත පදනම්ව, MQTT ප්රොටෝකෝලය හරහා මෘදුකාංගය සහ ධාරකය අතර සම්පූර්ණ වේදිකාවටම ප්රවේශ වන අතර, දුරස්ථ පාලක සහ දුරස්ථ අධීක්ෂණය සඳහා විසඳුමක් සපයන බහු-පර්යන්ත අධීක්ෂණ සහ උපකරණ පාලනය කිරීමේ මාදිලිය සාදයි. එය වර්ණදේහ සංදර්ශකය හරහා උපකරණයේ සම්පූර්ණ පාලනය සාක්ෂාත් කරගත හැකිය.
1) බුද්ධිමත් සහ අන්තර් සම්බන්ධිත වායු වර්ණදේහ වේදිකාව
- එක් ජංගම දුරකථනයකින් බහු වායු වර්ණදේහ පාලනය කරන්න
- ඕනෑම වේලාවක උපකරණ තොරතුරු බැලීමට අන්තර්ජාලයට ප්රවේශ වීම
- දුරස්ථ ක්රියාකාරිත්වය හරහා උපකරණ පාලනය
- වර්ණදේහ වැඩපොළක අවශ්යතාවයකින් තොරව GC ක්රම සංස්කරණය කරන්න
- ඕනෑම වේලාවක උපකරණ තත්ත්වය සහ සාම්පල ධාවනය පරීක්ෂා කරන්න
2) වෘත්තීය සහ සැලකිලිමත් විශේෂඥ පද්ධතිය
- විශාල දත්ත සමඟ වත්මන් තත්වයන් යටතේ උපකරණ ස්ථායිතාව විශ්ලේෂණය කරන්න
- ඕනෑම අවස්ථාවක ඔබේ වායු වර්ණදේහයේ අනාවරක ක්රියාකාරිත්වය තක්සේරු කරන්න
- ප්රශ්නෝත්තර මත පදනම් වූ උපකරණ නඩත්තු පරීක්ෂණ
04 බුද්ධිමත් අන්තර් සම්බන්ධිත වැඩපොළ පද්ධතිය
පරිශීලක භාවිත පුරුදුවල වෙනස්කම් සපුරාලීම සඳහා බහු පර්යන්ත වැඩපොළ විකල්ප.
1)GCOS ශ්රේණි වැඩපොළවල්
- උපකරණවල තත්ය කාලීන අධීක්ෂණය සහ විශ්ලේෂණ දත්ත සැකසීම ක්රියාත්මක කිරීම
- මඟ පෙන්වන මෙහෙයුම් තර්කනය පරිශීලක ඉගෙනුම් පිරිවැය අවම කරයි.
- විශ්ලේෂණාත්මක ප්රවාහ මාර්ග තෝරා ගැනීම මඟින් එක් උපකරණයකට බහු නියැදි විශ්ලේෂණ සිදු කිරීමට ඉඩ සලසයි.
- ජාතික GMP අවශ්යතාවලට අනුකූල වීම
2) පැහැදිලිතා ශ්රේණි වැඩපොළවල්
- පෙර උපකරණ වැඩපොළවල් භාවිතා කරන්නන්ගේ භාවිතය තෘප්තිමත් කරන්න.
- වැඩ කණ්ඩායම් ක්රියාකාරිත්වය සාක්ෂාත් කර ගැනීම සඳහා වර්ණදේහ විද්යාව සඳහා විවිධ ඉදිරිපස සහ පසුපස උපකරණ සම්බන්ධ කිරීමට හැකියාව ඇත.
- ජාතික GMP අවශ්යතාවලට අනුකූල වීම
- පරිශීලක-හිතකාමී, විශ්වීය අතුරුමුහුණතක් මඟින් ක්රම මාරු කිරීම සහ ප්රවාහ අනුපාත ගණනය කිරීම් ඇතුළු උසස් මෘදුකාංග විශේෂාංග වෙත ප්රවේශ වීමට ඔබට ඉඩ සලසයි.
- වේදිකාව පුරා විශ්ලේෂණ ප්රතිඵල බෙදා ගන්න.
- උපකරණ පරිභෝජන භාවිතය පිළිබඳ බුද්ධිමත් විනිශ්චය
05 අද්විතීය කුඩා සීතල පරමාණුක ප්රතිදීප්ත අනාවරකය
වර්ණදේහ සහ වර්ණාවලි පර්යේෂණ සහ සංවර්ධනය පිළිබඳ වසර ගණනාවක අත්දැකීම් ඒකාබද්ධ කරමින්, රසායනාගාර වායු වර්ණදේහ මත ස්ථාපනය කළ හැකි අද්විතීය කුඩා සීතල පරමාණුක ප්රතිදීප්ත පොම්ප අනාවරකයක් අපි සංවර්ධනය කර ඇත්තෙමු.
පේටන්ට් අංකය: ZL 2019 2 1771945.8
සංඥාව මත විදුලි උණුසුමෙහි බාධා ආරක්ෂා කිරීම සඳහා ඉහළ උෂ්ණත්ව ඉරිතැලීම් උපාංගය ප්රශස්ත කරන්න.
පේටන්ට් අංකය: ZL 2022 2 2247701.8
1) බහු අනාවරක ප්රසාරණය
- AFD ස්ථාපනය කිරීමට අමතරව, අනෙකුත් අනාවරක (FID, ECD, TCD, FPD, TSD, ආදිය) ද ස්ථාපනය කළ හැකිය. වැඩි සාම්පල සෑදීමට සහ උපකරණ කාර්යක්ෂමතාව වැඩි දියුණු කිරීමට අවම උපකරණ ප්රමාණයක් භාවිතා කරන්න.
2) අද්විතීය දෘශ්ය පද්ධතිය
- අතිශය ඉහළ උපකරණ සංවේදීතාව (පිරිසිදු කිරීම සහ ග්රහණය සමඟ ඒකාබද්ධව) මෙතිල් රසදිය 0.07pg සහ එතිල් රසදිය 0.09pg
- රසායනාගාර ප්රතිදීප්ත වර්ණාවලියෙන් 1/40 ක ප්රමාණයක් සහිත අවම ප්රතිදීප්ත අනාවරකයක්
3) ක්රියාකාරී පිටාර ග්රහණ පද්ධතිය
- අනාවරකය හරහා ගමන් කරන රසදිය වාෂ්ප අවසානයේ රන් වයර් අවශෝෂණ නලයක් මගින් ග්රහණය කරගනු ලබන්නේ එහි ග්රහණ කාර්යක්ෂමතාව සහතික කිරීම, පරිශීලක සෞඛ්යය සහ ආරක්ෂාව ආරක්ෂා කිරීම සහ වායුගෝලීය පරිසරයට සිදුවන දූෂණය අඩු කිරීම සඳහා ය. විශේෂ එන්නත් වරාය.
4) විශේෂ එන්නත් වරාය
- එන්නත් මළ පරිමාව අවම කර වර්ණදේහ උච්ච පුළුල් කිරීම සැලකිය යුතු ලෙස අඩු කරන්න.
- වීදුරු ලයිනර් වල එතිල් රසදිය මත අවශෝෂණ බලපෑම වැළැක්වීම
5) සම්පූර්ණයෙන්ම අදාළ වේ
- HJ 977-2018 "ජලයේ ගුණාත්මකභාවය - ඇල්කයිල් රසදිය නිර්ණය කිරීම"
- පිරිසිදු කිරීමේ උගුල/ගෑස් වර්ණදේහ විද්යාව සීතල පරමාණුක ප්රතිදීප්ත වර්ණාවලීක්ෂය"
- HJ 1269-2022 "පසෙහි සහ අවසාදිතවල මෙතිල්මර්කරි සහ එතිල්මර්කරි නිර්ණය කිරීම"
6) කේශනාලිකා වර්ණදේහ තීරුව
- ඉහළ වර්ණදේහ තීරු කාර්යක්ෂමතාව
- වේගවත් වෙන් කිරීමේ වේගය
- ඉහළ සංවේදීතාව
- වර්ණලේඛ තීරු වෙනත් යෙදුම් සඳහා භාවිතා කළ හැක.
- හඳුනාගැනීම
7) වායු වර්ණදේහ වේදිකාව පිරිසිදු කර උගුලට හසු කර ගන්න
- ඇල්කයිල් රසදිය විශ්ලේෂණයට අමතරව, බහුවිධ කාර්යයන් සහිත එක් යන්ත්රයක් සාක්ෂාත් කර ගැනීමට සහ උපකරණ කාර්යක්ෂමතාව වැඩි දියුණු කිරීමට එකවර බහුවිධ ක්රම යෙදිය හැකිය.
06 වායු වර්ණදේහයේ යෙදුම් වර්ණාවලිය
